鷺宮製作所の自動制御機器と試験装置、その制御技術は幅広い分野で活躍しています。

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半導体・液晶製造装置用

半導体・液晶製造装置用

半導体・液晶洗浄装置、半導体・液晶製造装置、純水製造装置などの薬液管理、流量制御などに使用されています。

渦流量計 SLKシリーズ(接液部PFA) 超純水・薬液流量制御用

渦流量計

SLKシリーズ
(接液部PFA)
超純水・薬液流量制御用

渦流量計 JLKシリーズ(接液部SUS・PPS) 各種液体流量制御用

渦流量計

JLKシリーズ
(接液部SUS・PPS)
各種液体流量制御用

渦流量計 ULKシリーズ(接液部PVC) 各種液体流量制御用

渦流量計

ULKシリーズ
(接液部PVC)
純水・各種液体流量制御用

抵抗率計コントローラ RNE形 超純水・純水の液質管理用

抵抗率計コントローラ

RNE形
超純水・純水の液質管理用

抵抗率計センサ ARK形 超純水・純水の液質管理用

抵抗率計センサ

ARK形
超純水・純水の液質管理用

汎用デジタルコントローラ ONE形 遠距離監視、制御用

汎用デジタルコントローラ

ONE形
遠距離監視、制御用

ベローズ HLB/WSL形 各種バルブ、真空継手用

ベローズ

HBL/WSL形
各種バルブ、真空継手用