鷺宮製作所

半導体･液晶製造装置用

半導体・液晶洗浄装置、半導体・液晶製造装置、純水製造装置などの薬液管理、流量制御などに使用されています。

渦流量計ＳＬＫシリーズ(接液部ＰＦＡ) 超純水・薬液流量制御用

渦流量計

ＳＬＫシリーズ
(接液部ＰＦＡ)
超純水・薬液流量制御用

渦流量計ＪＬＫシリーズ(接液部ＳＵＳ・ＰＰＳ) 各種液体流量制御用

渦流量計

ＪＬＫシリーズ
(接液部ＳＵＳ・ＰＰＳ)
各種液体流量制御用

渦流量計ＵＬＫシリーズ(接液部ＰＶＣ) 各種液体流量制御用

渦流量計

ＵＬＫシリーズ
(接液部ＰＶＣ)
純水・各種液体流量制御用

抵抗率計コントローラＲＮＥ形　超純水・純水の液質管理用

抵抗率計コントローラ

ＲＮＥ形

超純水・純水の液質管理用

抵抗率計センサＡＲＫ形超純水・純水の液質管理用

抵抗率計センサ

ＡＲＫ形

超純水・純水の液質管理用

汎用デジタルコントローラＯＮＥ形遠距離監視、制御用

汎用デジタルコントローラ

ＯＮＥ形
遠距離監視、制御用

ベローズＨＬＢ/ＷＳＬ形　各種バルブ、真空継手用

ベローズ

ＨＢＬ/ＷＳＬ形
各種バルブ、真空継手用

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