JLK
半导体和液晶制造装置
电源电压:DC12~24V±10% 最大使用压力:1MPa(25℃) 流体温度:0~90℃ 使用环境温度:0~50℃ 使用环境湿度:95%RH或以下 精度:±3%FS 使用流体:水、热水等各种流体(应不侵蚀主体材质)