JLK形 薄形渦流量センサ
特長
- 可動部が無いシンプル構造、高精度、高耐久のカルマン渦式液体流量計です。
- 低圧損設計で、幅広い流量範囲を安定計測できます。
- CEマーキング対応品もございます。
用途
半導体・液晶製造装置
共通仕様
電源電圧:DC12~24V±10%
最高使用圧力:1MPa(25℃)
流体温度:0~90℃
使用周囲温度:0~50℃
使用周囲湿度:95%RH以下
精度:±3%FS
使用流体:水、温水など各種流体(本体材質を侵さないこと)
半導体・液晶製造装置
電源電圧:DC12~24V±10%
最高使用圧力:1MPa(25℃)
流体温度:0~90℃
使用周囲温度:0~50℃
使用周囲湿度:95%RH以下
精度:±3%FS
使用流体:水、温水など各種流体(本体材質を侵さないこと)