ULK形 渦流量センサ
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ULK-15
特長
- 可動部が無いシンプル構造、高精度、高耐久のカルマン渦式液体流量計です。
- 低圧損設計で、幅広い流量範囲を安定計測できます。
- 大口径のパイプ継手での品揃えです。
- CEマーキング対応品もございます。
用途
半導体・液晶製造装置
共通仕様
電源電圧：DC12～24V±10%
最高使用圧力：1MPa（20℃）
流体温度：0～50℃
使用周囲温度：0～50℃
出力：4～20mA
精度：±3%FS
使用流体：水、温水、油、海水など各種流体（本体材質を侵さないこと）
流量範囲：4～550min/L